Nhiệt hóa hơi riêng của một chất lỏng là nhiệt lượng cần để làm cho 1 kilogam chất lỏng đó hóa hơi hoàn toàn ở nhiệt độ xác định. Từ định nghĩa đó ta có công thức xác định nhiệt lượng cung cấp cho một chất lỏng hóa hơi ở nhiệt độ không đổi Q = m×L trong đó m là khối lượng của vật (kg), L là nhiệt hóa hơi riêng của chất lỏng (J/kg). Chất lỏng có thể hoá hơi ở các nhiệt độ khác nhau và vì trong quá trình hoá hơi chất lỏng mất bớt các phân tử có động năng lớn nên các phân tử còn lại trong chất lỏng có động năng trung bình giảm làm cho nhiệt độ của chất lỏng giảm. Muốn giữ nguyên nhiệt độ của chất lỏng khi hoá hơi thì phải truyền cho chất lỏng một nhiệt lượng, đó chính là nhiệt hoá hơi. Do đó nhiệt hoá hơi riêng phụ thuộc vào nhiệt độ. Ở mỗi nhiệt độ mỗi chất có một nhiệt hoá hơi riêng xác định.
Nhà vật lí Pháp Regnault (1810 – 1878) đã tìm được bằng thực nghiệm công thức xác định sự phụ thuộc của nhiệt hoá hơi riêng của nước vào nhiệt độ: L = 606,5 – 0,695×t. Trong công thức này L tính bằng đơn vị cal/g, t là nhiệt độ theo thang Celsius.
Nhiệt hoá hơi riêng là thông tin cần thiết trong việc thiết kế, chế tạo các sản phẩm có sử dụng hiện tượng hoá hơi nhằm tiết kiệm năng lượng, bảo vệ môi trường. Ví dụ như các thiết bị làm lạnh (máy điều hoà nhiệt độ, dàn lạnh, dàn bay hơi,...), nồi hấp tiệt trùng trong y học, thiết bị xử lí rác thải ứng dụng công nghệ nhiệt hoá hơi,...